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潔凈室中常被采用的空氣循環(huán)系統(tǒng)

更新時間:2016-06-08  |  點擊率:1565

(1)單獨空調(diào)器系統(tǒng)
循環(huán)空氣通過空調(diào)器進(jìn)行溫、濕度處理后以風(fēng)管直接分送至各HEPA過濾器,但不宜用于過濾器多的系統(tǒng),空調(diào)器的風(fēng)量一般不會太大。另一種方式是用總風(fēng)管至靜壓箱,如有靜壓箱,宜用于過濾器多的系統(tǒng),靜壓箱要求密封性好,以免污染物通過過濾器與靜壓箱的安裝接縫處以有不嚴(yán)密處漏入至潔凈室,這一點對要求嚴(yán)的潔凈室是十分重要的,常設(shè)在靜壓箱上一層屋頂層內(nèi),以減少送風(fēng)管長度。一般每臺空調(diào)器的風(fēng)量30000-45000m3/h間,以控制噪聲過大,風(fēng)壓(氣壓)一般控制在650-700Pa以內(nèi)。
(2)軸流風(fēng)機(jī)豎井式布置,有壓靜壓箱
這種空氣循環(huán)系統(tǒng)主要用于大的IC工廠的潔凈室,由于其風(fēng)量大,過濾器多,每臺軸流風(fēng)機(jī)的風(fēng)壓常控制在400Pa左右,以適應(yīng)軸流風(fēng)機(jī)低風(fēng)壓、大流量下的運行效率佳并控制其噪音。此系統(tǒng)的特點是綜合投資及運行費用較高,維護(hù)管理方便,但靈活性較有效期,另外有壓靜箱的缺點同上。
(3)FFU系統(tǒng)
FFU是近幾年發(fā)展起來的,在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實踐證明無可擔(dān)心。其特點是靈活性大,便于改造,擴(kuò)展;占用建筑物空間較少;無壓回風(fēng)靜壓室,潔凈室內(nèi)風(fēng)壓大于它的,排除靜壓室對潔凈室漏入污染物。由于運行時的靜壓一般皆在250Pa左右,因此要求系統(tǒng)總阻力(過濾器為初阻力)控制在165Pa左右,即整個回風(fēng)阻力(包括風(fēng)道、各種局部阻力等)控制在65Pa左右,過濾器初阻力控制在約100Pa,融就需再增設(shè)加壓風(fēng)機(jī)系統(tǒng),這就降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點。
FFU單機(jī)風(fēng)量一般在1000-2000m3/h,由于小風(fēng)機(jī)所用小容量(功率<1/2Hp)的交流電機(jī),一般皆為電容分相式或隱極式,其效率僅40%左右,因此運行能效低,現(xiàn)多采用電子正流電機(jī)(無刷直流電機(jī))其效率可達(dá)75-80%。解決了以往運行能效低的問題,在調(diào)整控制上,可每臺單獨或成組以過濾器壓降進(jìn)行控制以進(jìn)一步達(dá)到節(jié)能。FFU系統(tǒng),可用于各行業(yè)的潔凈室,只要回風(fēng)系統(tǒng)阻力及過濾器阻力能合適控制,對小系統(tǒng)往往是可取的;對過濾器滿布率較低(如25%)左右的大面積潔凈室亦采用較多;對過濾器滿布率較高時一般往往是不經(jīng)濟(jì)的,滿布率高,意味著風(fēng)量很大,如控制系統(tǒng)阻力,回風(fēng)道要很大,往往在綜合經(jīng)濟(jì)上不可取,亦較難實現(xiàn)。


 

 

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